哪些行业需要用到爱发科真空泵油？
文章出处：鑫泉真空 人气：发表时间：2020-10-21 14:48:59
目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器；其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面
1. 用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
2. 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺。
3. 在化学工业，医药工业，食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要 防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。
4. 半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
5. 除半导体工艺外的某些产生微粒混入泵油中，而希望微粒排出 泵外，则用一定的型式的干式机械真空泵可以满足要求。
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